成套真空设备保养秘诀—这辈子就这一回

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作为超高真空系统操作人员必需要知道的整套超高真空设备的日常维护流程和注意事项：
（1） 操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。
& ]. x; R( I% z* F（2） 冷却水水压应保持0.1～0.2 Mpa之间，出水温度≤45℃。
（3） 压缩空气压力在0.4～0.5 Mpa之间。
（4） 每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。
（5） 开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。
9 P# j* g( ?, m（6） 经常检查各部分的回水量，工作时应保证各部分有充足的冷却水。
  e$ r: N, [. W5 h5 `8 j6 W; e（7） 设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉。
& g! @* h) ]$ F. r: b（8） 机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把废油放干净。
3 T5 C& T2 n0 t（9） 扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。
9 Q! \0 Z1 p. ~/ P（10）充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。
（11）本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛。
9 v+ S' X9 R' V% e+ M+ P8 a4 J0 Q（12）设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。
（13）气动系统的气动三连件上的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。
5 o/ Y5 Q  A: u2 @& y（14）设备的整机电压要保证在350～420 V范围内。三相要平衡。
0 q* b/ n4 r+ y0 f: n, R  G6 s& o（15）规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜，防止漏气。以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。
& L. W" H; f$ r* c（16）各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。
( Y9 C* j/ o  {- y& f( @5 j（17）设备工作时，注意观察各仪表的显示情况，及各泵的声音，以便及时发现异常，找出问题。
: s8 T8 O8 V7 S9 `. W1 H/ R（18） 设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在10～40℃。在拆修设备时，各部分不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。
（19） 设备在工作时，操作人员不得长时间离岗
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